企业简介
北京华林嘉业科技有限公司(简称CGB)，总部坐落于北京经济技术开发区。生产基地在河北经济开发区机器人产业园区，公司以打造拥有自主知识产权的民族高科技企业为已任，以创建国际一流企业为愿景。
CGB主要从事半导体、平板显示、太阳能光伏领域湿法制程设备的研发、生产与销售。产品性能处于国内行业领先地位，并逐渐接近国际行业先进水平。2008年通过了ISO9001:2000质量体系认证。公司业务范围涵盖：功能设计、结构设计、外观设计，骨架、包板、组装、调试等全方位生产过程。专注于化合物半导体、硅材料、集成电路(IC)、微机电系统(MEMS)等领域。
主营产品介绍
全自动最终清洗机
该设备为我公司开发的专利产品，专业应用于SiC衬底和SiC外延片最终清洗的工艺环节。
该设备涵盖了全部的RCA清洗技术，包括SC1、SC2、SPM、HF等药液，通过合理有效地药液槽的布局排列，结合超声(兆声)技术，对SiC晶片的表面进行清洗处理；通过自主开发的控制软件，有效地将多ROBOT运动轨迹，与清洗工艺有机结合，避免了交叉污染，保证了清洗工艺的顺利实施。集成在线的甩干机或Marangoni dryer单元，保证了晶片干进干出，便于晶片进入下一工序。
本设备具备完善的安全防护设施，配备了10级FFU，用于十级或百级净化间。整个清洗过程，不需要人为干预。采用本设备清洗后的6英寸SiC晶片，表面颗粒达到<30颗/片@0.3微米，表面金属杂质残留<5E10（16种金属离子），完全满足SiC器件工艺对表面的技术要求。该设备已在国内多家SiC生产龙头企业使用，得到了用户的全面认可，具有非常高的市占率。
【 联系方式 】
邮箱/Email ：gengbiao@cgbtek.com
服务热线/Service: 400-650-7658
010-60573500 86-13910297918
公司网站/Website: http://www.cgbtek.com
公司地址/Address: 北京经济技术开发区荣华南路15号院中航技广场D座7层705单元
