近日，由北方华创真空技术有限公司自主研发的“特大型真空排气台”经过为期一个月的现场安装调试，日前成功交付客户使用。

  北方华创此次研发的“特大型真空排气台"将用于650MHz/800kW连续波速调管的研制，是环形正负电子对撞机高频功率源系统的重要组成部件。环形正负电子对撞机，通过精确测量希格斯粒子，开辟了高能物理发展的新方向。作为重点科研项目，北方华创积极组织优势资源推进产品的研制工作，并通过与客户紧密合作确保了产品的交付。在客户现场安装调试阶段，北方华创还为客户提供了专业的培训服务，直至完成首支样管生产，专业的服务态度和服务能力获得了客户的良好评价。

  北方华创此次交付的“特大型真空排气台”的有效区尺寸可达φ1800mm×5000mm，额定装载量达到2800kg，外室真空度达到5×10-5Pa，内室真空度可达3.5×10-8Pa，各项技术指标远远优于常规排气设备。在此之前，国内尚无满足以上工艺指标的相关产品，国际上也只有日本、美国和法国少数厂商可以生产。北方华创“特大型真空排气台”的研制成功，是国产真空排气设备的又一次突破。

  一直以来，北方华创始终坚持“以客户需求为导向的持续创新”的企业宗旨，60余年专注真空装备制造，凭借卓越的工艺性能及可靠品质赢得了真空电子行业用户的赞誉。未来，北方华创真空将持续深耕真空电子行业，为高端真空装备国产化做出更大的贡献。