近日，北方华创真空自主设计的特大型排气台在公开招标项目中，凭借其真空度及温度均匀性指标优越、有效容积大、装炉量高、设备稳定性高等特性，一举中标，成为真空行业主流客户在特定制造工艺中的首选装备。

　　作为科研领域方面的重点项目，高能环形正负电子对撞机(CEPC)项目瞄准高能物理的前沿——希格斯粒子。希格斯粒子的精确测量和研究，是通向更深层次物理的钥匙，是粒子物理研究不可跨越的一步。高能环形正负电子对撞机(CEPC)光子能量可达20 MeV，通量极高，在材料、微加工、大型部件检测等许多方面应用广泛。一旦建成，中国将成为全球高能物理研究的中心，将吸引全世界最优秀的一批科学家和工程师，建设世界级的科学中心，带动一系列核心技术的发展。

　　特大型排气台主要应用于650MHz/800kW连续波速调管的制造工艺，是CEPC项目核心部件之一——高效率微波功率源的一道关键工艺过程。

　　本次特大型排气台项目的中标，标志着北方华创真空排气台产品的设计研发水平有了大幅度提升。特大型排气台的腔体有效容积、极限真空度、真空密封、热场温度均匀性、控制系统等方面都对方案的设计提出了更高的要求，其有效区尺寸达到φ1800mm×5000mm，额定转载量达到2800kg，远远大于常规真空排气台产品。北方华创真空自我挑战，根据客户的实际需求，针对技术难点进行集中攻关，充分理解应用于CEPC的核心部件——连续波速调管的工艺要求，所设计呈现的特大型排气台方案受到了业主和评标专家的一致认可。

　　

 

　　(特大型排气台示意图)

　　北方华创真空将以此为契机，通过特大型真空排气台设备助力国家高端科研领域，在应用于高端科研领域的真空热处理装备市场中书写崭新的一页。