北方华创开展SiC晶体生长设备和技术的研发攻坚至今已有十余年积累,具有一支成熟的装备及晶体生长工艺的研发团队。
碳化硅晶片主要用来做成高压功率器件和高频功率器件,主要分为两种类型:导电型的 SiC 晶片经过 SiC 外延后,可制作成高压功率器件;半绝缘型的 SiC 晶片经过 GaN 外延后,可制成RF器件。从2017年正式发布4吋导电型SiC长晶设备解决方案并将首台设备推向市场以来,北方华创现已具备大尺寸、导电/高纯半绝缘型、粉料合成/晶体生长/晶锭热处理等多种技术路线的10余种设备机型,助力中国SiC企业实现高速发展。