北京华林嘉业科技有限公司




企业简介



北京华林嘉业科技有限公司(简称CGB),总部坐落于北京经济技术开发区。生产基地在河北经济开发区机器人产业园区,公司以打造拥有自主知识产权的民族高科技企业为己任,以创建国际一流企业为愿景。

CGB主要从事半导体、平板显示、太阳能光伏领域湿法制程设备的研发、生产与销售。产品性能处于国内行业领先地位,并逐渐接近国际行业先进水平。2008年通过了ISO9001:2000质量体系认证。公司业务范围涵盖:功能设计、结构设计、外观设计,骨架、包板、组装、调试等全方位生产过程。专注于化合物半导体、硅材料、集成电路(IC)、微机电系统(MEMS)等领域。




主营产品介绍



 全自动最终清洗机

该设备为我公司开发的专利产品,专业应用于SiC衬底和SiC外延片最终清洗的工艺环节。

该设备涵盖了全部的RCA清洗技术,包括SC1、SC2、SPM、HF等药液,通过合理有效地药液槽的布局排列,结合超声(兆声)技术,对SiC晶片的表面进行清洗处理;通过自主开发的控制软件,有效地将多ROBOT运动轨迹,与清洗工艺有机结合,避免了交叉污染,保证了清洗工艺的顺利实施。集成在线的甩干机或Marangoni dryer单元,保证了晶片干进干出,便于晶片进入下一工序。

本设备具备完善的安全防护设施,配备了10级FFU,用于十级或百级净化间。整个清洗过程,不需要人为干预。采用本设备清洗后的6英寸SiC晶片,表面颗粒达到<30颗/片@0.3微米,表面金属杂质残留<5E10(16种金属离子),完全满足SiC器件工艺对表面的技术要求。该设备已在国内多家SiC生产龙头企业使用,得到了用户的全面认可,具有非常高的市占率。






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